?鋯靶（Zirconium Target）是一種用于物理氣相沉積（PVD）、濺射鍍膜等工藝的高純度鋯材料制成的靶材，主要用于在基材表面形成均勻、致密的鋯薄膜或鋯基化合物薄膜。鋯靶通常由純度≥99.9%的金屬鋯或鋯合金制成，可根據需求摻雜其他元素（如釔、鉿等）。多為圓形或矩形固體塊，表面需高度拋光以保障鍍膜質量。鋯具有高熔點（1852℃）、耐腐蝕、低熱中子吸收截面等特性，適合?半導體與電子工業、??光學鍍膜?、?核工業?等?耐腐蝕?、高溫、腐蝕性環境下的應用。有關鋯靶的技生產工藝、執行標準、應用領域，寶雞凱澤金屬結合相關資料整理如下：
1、生產工藝
鋯靶的生產涉及高精度和嚴格的過程控制，主要步驟包括：
原料提純：采用電子束熔煉或碘化法獲取高純度鋯（≥99.95%），確保低氣體含量（如氧、氮）。
成型加工：通過熱等靜壓（HIP）或熱軋/鍛造細化晶粒，優化密度和結構均勻性。
熱處理：在真空或惰性氣氛中進行退火，消除應力并調控晶粒尺寸。
機械加工：精密車削、磨削至所需尺寸，表面粗糙度通?？刂圃赗a≤0.4μm。
綁定技術：采用釬焊或環氧樹脂將鋯靶與銅/鋁背板結合，確保散熱和導電性。
質量檢測：包括超聲波探傷（檢測內部缺陷）、EBSD分析晶粒取向、XRD相結構分析。
2、執行標準
國際標準：ASTM B495（鋯鑄件）、ASTM B550（鋯及鋯合金板/帶），SEMI F42（半導體用濺射靶規范）。
國內標準：GB/T 8769-2010（鋯及鋯合金鑄錠）、YS/T 1029-2015（高純金屬靶材通用規范）。
特殊行業標準：核工業遵循ASME BPVC III卷，醫用需符合ISO 13485質量管理體系。
3、材質特性
基礎材質：純鋯（R60702/R60704等級）或鋯合金（如Zr-2.5Nb），純度通?！?9.95%。
關鍵參數：密度≥6.49 g/cm3，維氏硬度HV 120-150，熱導率22 W/(m·K)（20℃）。
微觀要求：平均晶粒尺寸≤50μm，晶界潔凈度需滿足SEM-EDS檢測無夾雜物。
4、應用領域
半導體：90nm以下制程的Cu互連阻擋層（如Ta/Zr疊層），DRAM電容介質層。
光學鍍膜：制備ZrO?增透膜（折射率≈2.1@550nm），用于相機鏡頭、AR玻璃。
裝飾涂層：通過反應濺射生成彩色氮化鋯（ZrN，金色），用于高端手表、衛浴五金。
新能源：固態電池電解質（LLZO）沉積、PEM電解槽防腐涂層。
生物醫療：骨科植入物表面ZrO梯度涂層，提升骨整合性和耐腐蝕性。
5、市場前景
需求增長：據GII數據，2023-2030年全球濺射靶材CAGR預計7.2%，其中鋯靶在先進封裝領域增速超10%。
技術趨勢：大尺寸（≥G8.6）、高濺射速率（≥50 nm/min）靶材需求上升，復合結構（如Zr/Ti疊層）開發活躍。
風險因素：鋯英砂價格波動（2023年均價$2200/噸），地緣政治影響供應鏈穩定性（全球80%鋯礦在澳大利亞、南非）。
6、采購注意事項
技術規格確認：明確靶材尺寸公差（如±0.1mm）、綁定方式（In焊料需控制Pb<100ppm）、磁導率（μ≤1.05）。
供應商審核：要求提供ISO 9001/14001認證，審查過往案例（如臺積電、三星供貨記錄）。
檢測驗證：第三方報告應包括GDMS（雜質元素≤10ppm）、TEM晶界分析、濺射速率測試（Ar氣壓0.3Pa下實測）。
物流保障：采用防震真空包裝，運輸溫度控制在15-25℃，避免濕度過高（RH<30%）。
成本優化：考慮殘靶回收服務（回收率≥85%），長期協議鎖定價格波動（如季度調價機制）。
7、創新動態
工藝革新：2023年日本Tosoh開發等離子旋轉電極霧化（PREP）制備球形鋯粉，靶材密度提升至99.3%。
應用突破：MIT團隊2024年報道利用Zr靶濺射制備拓撲絕緣體薄膜，量子效率提升40%。
通過上述結構化分析，采購方可在技術合規性、成本效益及供應鏈穩定性間取得平衡，精準匹配項目需求。建議定期參加ICMM、MRS等國際會議，跟蹤鋯靶技術前沿動態。
相關鏈接
