鈦靶、鉻靶、鋯靶、鎳靶等合金濺射靶材的要求比其他材料要高，除了如純度、尺寸、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、缺陷控制等一般要求外，還有表面粗糙度、成份與組織均勻性、異物（氧化物）含量與尺寸等特殊的要求。所以在濺射合金靶材的制備過程中，其方法是非常重要的，那么常見的濺射合金靶材的制備方法有哪些呢？凱澤金屬就總結(jié)了幾種方法分享給大家，一起來看看吧。
一、特種熔煉法
特種熔煉法是將一定成分配比的合金原料熔煉，再將合金溶液澆注于模具中，形成鑄錠，再經(jīng)過機(jī)械加工制成靶材，鑄造法在真空中熔煉、鑄造。常用的熔煉方法有真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等，其優(yōu)點(diǎn)是靶材雜質(zhì)含量，特別是氣體雜質(zhì)含量低，密度高，可大型化；但缺點(diǎn)是對(duì)熔點(diǎn)和密度相差較大的兩種或兩種以上金屬，普通熔煉法難以獲得成分均勻的合金靶材，如鈦鋁合金（鈦鋁靶）。
二、粉末冶金法
粉末冶金法是將一定成分配比的合金原料熔煉，澆注成鑄錠后再粉碎，將粉碎形成的粉末經(jīng)等靜壓成形，再高溫?zé)Y(jié)，形成靶材。此方法的優(yōu)點(diǎn)是靶材成分均勻；但缺點(diǎn)是密度低，雜質(zhì)含量高等，常用的粉末冶金工藝包括冷壓、真空熱壓和熱等靜壓等。
三、強(qiáng)電流加熱法
強(qiáng)電流加熱法采用可獲得大電流的裝置，利用大電流使兩種原料的粉末發(fā)熱，再施加壓力，使得兩種金屬自身反應(yīng)形成合金靶材，此方法可用與制作鈦鋁合金靶材。鈦粉和鋁粉發(fā)熱，施以壓力，使鋁和鈦?zhàn)陨矸磻?yīng)形成鈦鋁合金靶材。
四、熱等靜壓燒結(jié)法
熱等靜壓燒結(jié)法熱等靜壓燒結(jié)是指通過高溫和各向均衡的高壓氣體的共同作用，使坯體或預(yù)燒體達(dá)到燒結(jié)致密化的工藝方法。將兩種金屬粉末進(jìn)行混料，然后經(jīng)過裝粉和冷等靜壓預(yù)壓制、脫氣工藝后再進(jìn)行熱等靜壓壓制成型，然后進(jìn)行燒結(jié)和加工得到合金靶材。此方法適用于制造形狀復(fù)雜的制品，可提高制品的致密度和性能。
五、熱壓燒結(jié)法
熱壓燒結(jié)法制備技術(shù)用于制備鈦鋁合金濺射靶材較為有潛力。該技術(shù)工藝效率高，適合產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。而用該技術(shù)制備鈦鋁合金靶材需反復(fù)試驗(yàn)，選擇合適的脫模劑，提高成品率及模具的利用率，同時(shí)，需優(yōu)化燒結(jié)熱工藝條件，如燒結(jié)溫度、升溫速率、熱壓壓力等，提高生產(chǎn)效率，從而降低成本。該工藝是使鈦鋁粉體在熱和力的共同作用下燒結(jié)成型，利用Ti- AI混合物中鋁的熔點(diǎn)低，將鈦粉粘結(jié)在一起，形成濺射合金靶材。
以上五種就是常見的濺射合金靶材的制備方法，一般合金靶材都可以用熔煉法和粉末冶金法制備，而有些合金靶材，如鈦鋁合金，不太適用前兩種方法，可用強(qiáng)電流加熱法、熱等靜壓燒結(jié)法、熱壓燒結(jié)法制備，其中熱壓燒結(jié)法用于制備鈦鋁合金濺射靶材較為理想。凱澤金屬專注生產(chǎn)各種濺射靶材，鉻靶、鎳靶、鋯靶、鋁靶材等的深加工，產(chǎn)品純度高，還可進(jìn)行有關(guān)使用方面的技術(shù)指導(dǎo)，如果您有需要，歡迎聯(lián)系凱澤金屬詳詢。
相關(guān)鏈接
